中文|ENGLISH|联系我们
概况介绍 机构设置 大事记 联系我们 人才队伍
新闻动态 合作交流
论文专著 专利 标准 获奖
仪器设备 技术转化
研究方向
您现在所在的位置是：首页 >> 研究方向 >> 装备研发
装备研发的内容：

       目前氮化物材料外延设备MOCVD完全依赖进口，导致上游技术受制，制约了国内半导体技术产业化的发展，高额设备购置费用是阻碍相关半导体产品成本下降的重要因素。因此开展了大型MOCVD装备及关键零部件研发，重点掌握MOCVD核心技术、完成关键部件的设计和制造，提高消耗性、易损性关键设备部件的开发与自主创新能力，降低设备成本；对自主研发的生产型MOCVD设备开展材料外延工艺探索，实现产业化应用，验证稳定性和重复性等设备性能，优化改进工艺，制备出高质量半导体光电子材料。
 
Copylisty@2012 www.sklssl.org all right 电话：86-10-82387780 电子邮件：info@sklssl.org
 欢迎访问我们的网站　         京ICP备12043863号-1          制作维护：中国半导体照明网