厂商:坤杰精密自动化设备有限公司
型号: 310 M
技术指标:
1.共18个工作槽位,配备氮气及纯水清洗系统;
2.可进行常规有机、无机清洁处理;ITO薄膜湿法蚀刻;去蜡清洗;lift-off 工艺;
湿法腐蚀氧化硅等工艺。
工艺特点:
1.小批量多片处理、水浴加热清洗、超声清洗;
2.DI水冲洗为喷淋,溢注两种模式自由组合;
3.半自动机械手臂进行上下往复晃动,反应更均匀