厂商：美国ABM公司，型号：ABM/6/350/NUV/DCCD/M型

技术指标：

 1.365 nm(波长) 输出光强---约18-20 mW/cm2;

 2.400 nm(波长) 输出光强---约35-40 mW/cm2;

 3.曝光有效范围:4英寸直径;

 4.曝光精度：

    硬接触模式<1微米,软接触<1.5微米;

    接近式（20um）<2微米,接近式（50um）<3微米

工艺特点：

 1.卓越的曝光面内均一性:

 2.误差小于±1% 于 2 英寸曝光范围内;

 3.误差小于±2% 于 4 英寸曝光范围内;

 4.具备高性能消除衍射涂层光学系统;

 5.双通道光强度控制系统;

 6.实时动态显示（通过CCD直接在显示器上显示）