日本日立公司的S4800型SEM，用于材料精细形貌的观察,可获得高质量高分辨二次电子像，其图象质量明显优于普通扫描电镜，二次电子影像分辨率最大为1.0nm (15 kV)，放大倍率最高为80万倍，可配合能谱分析。
 

主要技术参数：

1、二次电子成像分辨率：2nm@1kV；1.4nm@1kV（减速模式）；1.0nm@15kV；

2、放大倍数：20X-800000X；

3、加速电压：0.1-30kV；

4、样品台：三轴马达台；

5、样品最大尺寸：100mm；

6、电子枪: 冷场发射电子源。