系统特点：反式双管排污，系统无污染，可适用各种金属，石墨烯等不同类型衬底

主要功用：厚膜GaN模板制备，多类型衬底的厚膜GaN外延

 

HVPE大型立式

系统特点：一炉多片

主要功用：GaN自支撑衬底量产