技术参数:


SMU的分辨率扩展至0.1fA;脉冲I-V能力用于先进半导体测试;集成的示波器和脉冲测量功能


主要应用领域:


应用半导体器件C-V/I-V特性分析,晶圆级可靠性封装器件特性分析
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