设备简介：

厂商：veeco

型号：Dektak 8

技术指标：

1.台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上;

2.最大晶圆尺寸：200mm;

3.最大样品厚度：25.4mm （1 in.);

4.每次扫描数据点：最多可达60，000数据点;

5.扫描长度范围：标配最大50mm;

6.垂直范围：1Å ~1mm ;

7.最大垂直分辨率：1Å (6.55微米垂直范围下）

工艺特点：

1. 台阶高度测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好

2. 是功能最为强大的探针轮廓仪，可最大限度的满足各种应用需要