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设备简介:

厂商:坤杰精密自动化设备有限公司

型号: 310 M

 

技术指标:

1.18个工作槽位,配备氮气及纯水清洗系统;

2.可进行常规有机、无机清洁处理;ITO薄膜湿法蚀刻;去蜡清洗;lift-off 工艺;

湿法腐蚀氧化硅等工艺。

 

工艺特点:

1.小批量多片处理、水浴加热清洗、超声清洗;

2.DI水冲洗为喷淋,溢注两种模式自由组合;

3.半自动机械手臂进行上下往复晃动,反应更均匀

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