厂商:德国PVA-TePla-AG
型号: 310 M
技术指标:
1.等离子体室:石英,直径245mm,深380mm; 2.等离子体发生器:微波频率2.45GHz,最大1.000瓦,可变功率
工艺特点:
1.微波等离子体廉价、易于使用、高度活性、高效,且不会对电子装置产生
损害,该系统配备洁净的石英晶体处理室;
2.可以进行普通光刻胶灰化、SU8灰化;
3.适合于光刻胶显影底膜的去除。