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设备简介:

厂商:AST(聚昌科技)   型号:Peva-600E

 

技术指标:

1.一次工艺可以蒸发四种不同金属材料;Ti/Al/TiNi/AuCrPtAu等,Au后可做到3um

2.蒸镀温度在室温到100℃之间可调;

3.Lift-off工艺一次可以蒸镀1082"圆片;

4.Step-coverage工艺一次可以蒸镀672"圆片;

5.工艺的均匀性和重复性±5.

 

工艺特点:

1. 因应功率IC(Ti/Ni/Ag)及ⅢⅤ族砷化镓晶圆各种Lift-Off製程需求(TiAuAlNiCrAuGe等),将Throw Distance拉高至>26~32;

2.Run to Run膜厚均匀性可控制至<±1%,以确保整体产品良率;

3.最佳化蒸镀腔及排气系统设计,可有效降低Cycle time,并提升材料利用率(提高20%

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