厂商：韩国NTS.CO.,LTD
型号：NanoSurface GH180P-V
技术指标：
1.可加工横向尺寸4英寸及以下的wafer;
2.一次加工3片2英寸大小的wafer。
工艺特点：
1.采用增量坐标方式，可任意设定减薄原点，操作简单;
2.金刚石砂轮轴最大转速为2400rpm，工件托盘主轴最大转速为500rpm；金刚石砂轮轴进给距离90mm。
